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现在我们发现束流的设置应该是随着放大倍数而变换的,对于TESCAN用户来说,比较方便,可以直接从软件中读取当前电镜调节对应的束流,结合视野宽度很容易知道单点像素的大小,从而快速找到束斑与像素匹配的工作条件。既保证了没有信息丢失,又保证了的束流强度和信噪比。
此外对于EBSD分析也一样,EBSD分析为了追求速度,需要较大束流,而束流增大会增大束斑,导致花样重叠无法标定。而TESCAN用户则可以轻易的根据EBSD的步长来设置束斑大小,确保在不会出现花样重叠的情况下束斑达到,采集速度快。
要获得一张清晰的电镜照片,必须要能够做好基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。
基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易,改变焦距,直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度,在合焦点附近调低灵敏度,以便进行对焦。
基本操作中消像散相对来说比较麻烦,特别是像散很大时,对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生,电子束由于不再是圆形,透射电镜三维重构测试服务,所以在像散未消除的情况下,图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置,即光学中的子午和弧矢,在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。
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