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电子束穿过样品时会携带有样品的信息,TEM的成像设备使用这些信息来成像。投射透镜将处于正确位置的电子波分布投射在观察系统上。观察到的图像强度,I,在假定成像设备质量很高的情况下,近似的与电子波函数的时间平均幅度成正比。若将从样品射出的电子波函数表示为Ψ,则不同的成像方法试图通过修改样品射出的电子束的波函数来得到与样品相关的信息。根据前面的等式,可以推出观察到的图像强度依赖于电子波的幅度,同时也依赖于电子波的相位。虽然在电子波幅度较低的时候相位的影响可以忽略不计,但是相位信息仍然非常重要。

C1、C2的工作原理是通过改变聚光透镜线圈中的电流,来达到改变透镜所形成的磁场强度的变化,磁场强度的变化(亦即折射率发生变化)能使电子束的会聚点上下移动,在样品表面上电子束斑会聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑发散,照射区域变大则亮度就减小。通过调整聚光镜电流来改变照明亮度的方法,实际上是一个间接的调整方法,亮度的大值受到电子束流量的限制。如想更大程度上改变照明亮度,只有通调整前面提到的电子qiang中的栅极偏压,才能从根本上改变电子束流的大小。在C2上通常 装配有活动光阑,用以改变光束照明的孔径角,一方面可以限制投射在样品表面的照明区域,使样品上无需观察的部分免受电子束的轰击损伤;另一方面也能减少散射电子等不利信号带来的影响。

电子束的扫描是根据放大倍数和采集像素大小而进行了马赛克的像素化,只要束斑缩小到和单点像素匹配就可以,束斑与束斑之间不会出现太多的重叠而导致分辨率下降。只有束斑与单点像素匹配后,再缩小束斑已经没有意义,淀粉扫描电镜检测服务,不会带来分辨率的提升,相反会引起信息的缺失。由此我们可以得到新的结论,虽然束斑越小理论分辨率越高,但是对于实际拍摄来说,像素和束斑越匹配才是效果越好。

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