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为什么会出现这样奇怪的现象?为什么更好的分辨率却没有得到更真实的图像?前面我们已经说到,电子束是由扫描线圈的脉冲信号控制,电子束在试样表面并不是连续扫描,而是逐点跳跃式的扫描。一般扫描电镜的采集像素比较大,我们会误以为是连续扫描。既然扫描电镜是束斑间断跳跃式的轨迹,那么电子束就有一定的覆盖面积。
束斑中心的距离取决于放大倍数和采集像素大小。当束斑较大时,束斑覆盖比较;但是当束斑减小时,束斑的覆盖区域也越来越小,所以有的特征形貌会从束斑两个跳跃中心穿过而没有被覆盖到,所以相应的形貌特征也不会反映在图像上,这就造成了信息的丢失。像上述例子,在大倍数小,束斑之间跳跃间距小,足够覆盖特征形貌,但是缩小倍数后,跳跃距离变大,束斑不足以覆盖所有的特征形貌,有的线条就反映不出来。
现在我们发现束流的设置应该是随着放大倍数而变换的,对于TESCAN用户来说,比较方便,可以直接从软件中读取当前电镜调节对应的束流,结合视野宽度很容易知道单点像素的大小,从而快速找到束斑与像素匹配的工作条件。既保证了没有信息丢失,又保证了的束流强度和信噪比。
此外对于EBSD分析也一样,EBSD分析为了追求速度,噬菌体透射电镜检测服务,需要较大束流,而束流增大会增大束斑,导致花样重叠无法标定。而TESCAN用户则可以轻易的根据EBSD的步长来设置束斑大小,确保在不会出现花样重叠的情况下束斑达到,采集速度快。
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